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集成電路測試系統微小微電子參量校準技術研究

尹夢賓 北京工業大學; 北京100022

摘要:利用集成電路測試系統,可以完成小于1m V和1m A的直流電壓和電流的測試。而想要確保測量值準確可靠,還要使用相應的校準技術進行微小微電子參量的校準。基于這種認識,本文對微小微電子參量特性展開了分析,然后對其校準技術展開了研究,從而為關注這一話題的人們提供參考。

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